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Vos avantages:

insensible au plasma grâce à des capteurs spéciaux
mesure possible des objets les plus petits grâce à une lentille à haute résolution
Le tracé étroit du champ de mesure permet la mesure à travers de petites ouvertures du creuset de culture CVD.
alignement exact grâce à une caméra vidéo intégrée ou à une visée optique

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