Pyromètres dans l'industrie des semi-conducteurs

L'industrie des semi-conducteurs est un marché en pleine croissance, avec des exigences croissantes en termes de performances et de coûts de production de ses produits, tels que les cellules photovoltaïques, les micropuces, les LED et les lasers. Les chaînes de processus pour la fabrication de ces produits comprennent l'obtention d'un substrat semi-conducteur pur avec un réseau cristallin aussi exempt de défauts que possible et son traitement ultérieur. Ce traitement ultérieur comprend le traitement thermique et le revêtement des wafers.

La température du processus est un paramètre décisif pour la production de semi-conducteurs. Lors de la croissance des cristaux et du traitement des wafers, des plages de température spécifiques doivent impérativement être respectées afin d'éviter les défauts et d'obtenir ainsi un rendement élevé. La mesure de la température en temps réel est donc d'une importance capitale. La mesure optique de la température avec des pyromètres est la méthode idéale pour déterminer rapidement et sans contact la température exacte du processus à partir du rayonnement infrarouge des semi-conducteurs. Les tâches de mesure exigeantes et variées nécessitent des solutions pyrométriques parfaitement adaptées.