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Guía de Soluciones Industriales - Fabricación de semiconductores - PLD (deposición por láser pulsado)

Sus ventajas:
  • Medición de la temperatura del objeto o sustrato durante la vaporización del rayo láser (PLD)
  • Insensible a la radiación láser y de plasma gracias al filtro de bloqueo integrado
  • Posibilidad de medir los objetos más pequeños gracias a la óptica de alta resolución
  • Alineación precisa gracias a la cámara de vídeo integrada o al sistema de puntería a través del objetivo

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