Yarı iletken endüstrisinde pirometreler
Kristal büyütme ve yonga plakası işlemede temassız sıcaklık ölçümüne ilişkin uygulama raporu
Uygulama raporu yarı iletken endüstrisi
Yarı iletken endüstrisi, fotovoltaik hücreler, mikroçipler, LED'ler ve lazerler gibi ürünlerinin performansı ve üretim maliyetleri konusunda artan taleplerle hızla büyüyen bir pazardır. Bu ürünlerin üretimine yönelik süreç zincirleri, mümkün olduğunca kusursuz bir kristal kafese sahip saf bir yarı iletken alt tabakanın çıkarılmasını ve daha ileri düzeyde işlenmesini içerir.
Bu ileri işlem, gofretlerin ısıl işlemini ve kaplamasını içerir. Proses sıcaklığı, yarı iletken üretiminde belirleyici bir faktördür. Kristal büyütme ve gofret işleme sırasında, kusurları önlemek ve böylece yüksek verim elde etmek için belirli sıcaklık aralıklarına uyulmalıdır. Bu nedenle gerçek zamanlı sıcaklık ölçümü çok önemlidir. Pirometrelerle optik sıcaklık ölçümü, yarı iletkenlerin kızılötesi radyasyonundan tam proses sıcaklığını hızlı ve temassız bir şekilde belirlemek için ideal bir yöntemdir. Zorlu ve çeşitli ölçüm görevleri, optimum şekilde özelleştirilmiş pirometre çözümleri gerektirir.
Bu ileri işlem, gofretlerin ısıl işlemini ve kaplamasını içerir. Proses sıcaklığı, yarı iletken üretiminde belirleyici bir faktördür. Kristal büyütme ve gofret işleme sırasında, kusurları önlemek ve böylece yüksek verim elde etmek için belirli sıcaklık aralıklarına uyulmalıdır. Bu nedenle gerçek zamanlı sıcaklık ölçümü çok önemlidir. Pirometrelerle optik sıcaklık ölçümü, yarı iletkenlerin kızılötesi radyasyonundan tam proses sıcaklığını hızlı ve temassız bir şekilde belirlemek için ideal bir yöntemdir. Zorlu ve çeşitli ölçüm görevleri, optimum şekilde özelleştirilmiş pirometre çözümleri gerektirir.
Özellikler
- Tüm ölçüm aralığı boyunca sürekli yüksek sinyal çözünürlüğüne sahip hibrit sinyal işleme sayesinde çok geniş ölçüm aralıkları Yüksek optik çözünürlük için geniş bant saptırmalı hassas optikler
- Proses sıcaklığında özel kalibrasyon
- Sabit ışık teknolojisine dayalı sapmasız sensörler sayesinde son derece yüksek uzun vadeli kararlılık