Pyrometrar inom halvledarindustrin

Halvledarindustrin är en snabbt växande marknad med ökande krav på prestanda och produktionskostnader för sina produkter, t.ex. solceller, mikrochips, lysdioder och lasrar. Processkedjorna för tillverkning av dessa produkter omfattar utvinning av ett rent halvledarsubstrat med ett så felfritt kristallgitter som möjligt och vidare bearbetning av detta.

Denna vidareförädling omfattar termisk behandling och beläggning av wafers. Processtemperaturen är en avgörande faktor vid halvledartillverkning. Specifika temperaturområden måste upprätthållas under kristalltillväxt och waferbearbetning för att undvika defekter och därmed uppnå ett högt utbyte. Temperaturmätning i realtid är därför av avgörande betydelse. Optisk temperaturmätning med pyrometrar är den idealiska metoden för att snabbt och kontaktfritt bestämma den exakta processtemperaturen från halvledarnas infraröda strålning. De krävande och varierande mätuppgifterna kräver optimalt anpassade pyrometerlösningar.