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Guia de Soluções Industriais - Fabricação de semicondutores - DLP (deposição de laser pulsado, inglês: PLD Pulsed Laser Deposition)

As suas vantagens:
  • Medição de temperatura do alvo ou substrato durante a evaporação do feixe de laser (PLD)
  • Insensível a lasers e radiação de plasma graças ao filtro de bloqueio integrado
  • Medição dos menores objetos possíveis graças à óptica de alta resolução
  • Alinhamento exato graças ao filtro integrado câmera de vídeo ou viseira transparente

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