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Pirómetros na indústria de semicondutores

Relatório de aplicação sobre a medição da temperatura sem contacto na produção de cristais e no processamento de bolachas

Relatório de aplicação da indústria de semicondutores

A indústria de semicondutores é um mercado em rápido crescimento, com exigências crescentes em termos de desempenho e custos de produção dos seus produtos, tais como células fotovoltaicas, microchips, LEDs e lasers. As cadeias de processos para o fabrico destes produtos incluem a extração de um substrato semicondutor puro com uma estrutura cristalina tão perfeita quanto possível e o seu posterior processamento.

A temperatura do processo é um fator decisivo na produção de semicondutores, devendo ser respeitadas gamas de temperatura específicas durante o crescimento dos cristais e o processamento das bolachas, de modo a evitar defeitos e, assim, obter um elevado rendimento. A medição da temperatura em tempo real é, por isso, de importância crucial. A medição ótica da temperatura com pirómetros é o método ideal para determinar a temperatura exacta do processo a partir da radiação infravermelha dos semicondutores, de forma rápida e sem contacto. As tarefas de medição exigentes e diversificadas requerem soluções de pirómetros optimizadas e personalizadas.

Caraterísticas

  • Grandes extensões de medição devido ao processamento de sinal híbrido com uma resolução de sinal consistentemente elevada ao longo de toda a gama de medição Ótica de precisão com desvio de banda larga para uma elevada resolução ótica
  • Calibração especial à temperatura do processo
  • Estabilidade a longo prazo extremamente elevada graças a sensores sem desvios baseados na tecnologia de luz constante
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Nota de aplicação Semiconductor industry
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Leiterplatte Silizium-Wafer Silizium Solarmodul Pyrometer CellaTemp PKL Pyrometer CellaTemp PX
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