Pirometry w przemyśle półprzewodnikowym

Przemysł półprzewodnikowy jest szybko rozwijającym się rynkiem o rosnących wymaganiach dotyczących wydajności i kosztów produkcji jego produktów, takich jak ogniwa fotowoltaiczne, mikroprocesory, diody LED i lasery. Łańcuchy procesów wytwarzania tych produktów obejmują ekstrakcję czystego podłoża półprzewodnikowego z siecią krystaliczną, która jest tak nieskazitelna, jak to tylko możliwe, oraz jego dalsze przetwarzanie.

To dalsze przetwarzanie obejmuje obróbkę termiczną i powlekanie wafli. Temperatura procesu jest decydującym czynnikiem w produkcji półprzewodników. Określone zakresy temperatur muszą być przestrzegane podczas wzrostu kryształów i przetwarzania wafli, aby uniknąć defektów, a tym samym osiągnąć wysoką wydajność. Pomiar temperatury w czasie rzeczywistym ma zatem kluczowe znaczenie. Optyczny pomiar temperatury za pomocą pirometrów jest idealną metodą szybkiego i bezdotykowego określania dokładnej temperatury procesu na podstawie promieniowania podczerwonego półprzewodników. Wymagające i zróżnicowane zadania pomiarowe wymagają optymalnie dostosowanych rozwiązań pirometrycznych.