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Ihre Vorteile:

Unempfindlich gegenüber Plasma durch spezielle Sensorik
Messung kleinster Objekte durch hochauflösende Optik möglich
Schmaler Messfeldverlauf ermöglicht Messung durch kleine Öffnungen des CVD-Züchtungstiegels
Exakte Ausrichtung durch integrierte Videokamera oder Durchblickvisier

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Referenznummer: