半導体産業におけるパイロメーター

半導体産業は、太陽電池、マイクロチップ、LED、レーザーなど、製品の性能と製造コストに対する要求が高まる急成長市場である。これらの製品を製造するプロセス・チェーンには、可能な限り欠陥のない結晶格子を持つ純粋な半導体基板の抽出と、そのさらなる加工が含まれる。

半導体製造においてプロセス温度は決定的な要素であり、結晶成長とウェハー加工において、欠陥を回避し高い歩留まりを達成するためには、特定の温度範囲を遵守しなければなりません。そのため、リアルタイムの温度測定は極めて重要です。パイロメーターによる光学式温度測定は、半導体の赤外線放射から正確なプロセス温度を非接触で迅速に決定する理想的な方法です。要求の厳しい多様な測定タスクには、最適にカスタマイズされたパイロメーター・ソリューションが必要です。