Pyrometer in der Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie ist ein schnell wachsender Markt mit steigenden Anforderungen an die Leistung und Produktionskosten ihrer Produkte, wie beispielsweise Photovoltaikzellen, Mikrochips, LEDs und Laser. Die Prozessketten zur Herstellung dieser Produkte beinhalten die Gewinnung eines reinen Halbleitersubstrats mit einem möglichst fehlerfreien Kristallgitter und dessen weitere Verarbeitung. Diese Weiterverarbeitung umfasst die thermische Behandlung und Beschichtung von Wafern.

Die Prozesstemperatur ist eine entscheidende Größe für die Halbleiterproduktion. Bei der Kristallzüchtung und der Wafer-Verarbeitung müssen spezifische Temperaturbereiche zwingend eingehalten werden, um Defekte zu vermeiden und damit eine hohe Ausbeute zu erzielen. Die Temperaturmessung in Echzeit ist deshalb von entscheidender Bedeutung. Die optische Temperaturmessung mit Pyrometern ist die ideale Methode, um berührungslos und schnell die exakte Prozesstemperatur aus der Infrarotstrahlung der Halbleiter zu ermitteln. Die anspruchsvollen und vielfältigen Messaufgaben erfordern optimal abgestimmte Pyrometer-Lösungen.