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Industrial Solution Guide - Halbleiterfertigung - PLD (Pulsed Laser Deposition)

Ihre Vorteile:

Temperaturmessung des Targets oder Substrats beim Laserstrahlverdampfen (PLD)
Unempfindlich gegen Laser, und Plasmastrahlung durch integrierten Sperrfilter
Messung kleinster Objekte durch hochauflösende Optik möglich
Exakte Ausrichtung durch integrierte Videokamera oder Durchblickvisier

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