Pirometri nell'industria dei semiconduttori
Rapporto applicativo sulla misurazione della temperatura senza contatto nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer
Rapporto di applicazione industria dei semiconduttori
L'industria dei semiconduttori è un mercato in rapida crescita che richiede sempre più prestazioni e costi di produzione dei suoi prodotti, come celle fotovoltaiche, microchip, LED e laser. Le catene di processo per la fabbricazione di questi prodotti comprendono l'estrazione di un substrato semiconduttore puro con un reticolo cristallino il più possibile impeccabile e la sua ulteriore lavorazione.
La temperatura di processo è un fattore decisivo nella produzione di semiconduttori: durante la crescita dei cristalli e la lavorazione dei wafer, è necessario rispettare intervalli di temperatura specifici per evitare difetti e ottenere così una resa elevata. La misurazione della temperatura in tempo reale è quindi di fondamentale importanza. La misurazione ottica della temperatura con pirometri è il metodo ideale per determinare l'esatta temperatura di processo dalla radiazione infrarossa dei semiconduttori in modo rapido e senza contatto. I compiti di misura più impegnativi e diversificati richiedono soluzioni pirometriche personalizzate in modo ottimale.
La temperatura di processo è un fattore decisivo nella produzione di semiconduttori: durante la crescita dei cristalli e la lavorazione dei wafer, è necessario rispettare intervalli di temperatura specifici per evitare difetti e ottenere così una resa elevata. La misurazione della temperatura in tempo reale è quindi di fondamentale importanza. La misurazione ottica della temperatura con pirometri è il metodo ideale per determinare l'esatta temperatura di processo dalla radiazione infrarossa dei semiconduttori in modo rapido e senza contatto. I compiti di misura più impegnativi e diversificati richiedono soluzioni pirometriche personalizzate in modo ottimale.
Caratteristiche
- Campi di misura molto ampi grazie all'elaborazione ibrida del segnale con una risoluzione del segnale costantemente elevata sull'intero campo di misura Ottica di precisione con deflessione a banda larga per un'elevata risoluzione ottica
- Calibrazione speciale alla temperatura di processo
- Stabilità a lungo termine estremamente elevata grazie a sensori privi di deriva basati sulla tecnologia a luce costante